本发明揭示了一种快速测定时序式ALD制程的ALD-window的方法,通过时序式ALD工艺沉积单独一个薄膜样品即可确定所采用工艺的ALD-window;在所述ALD-window测定过程中,薄膜的ALD沉积温度T可被控制地改变;在沉积薄膜样品所使用的ALD设备中,配置有用于实时监控ALD沉积得到的薄膜的质量m的QCM,在ALD-window测定过程中,薄膜的ALD沉积温度T从低温到高温逐渐升高,通过QCM测量所得到的薄膜在每一个沉积温度下的指定沉积循环中的质量改变量Δm,最终得到Δm与T的函数关系,分析所述Δm与T的函数关系来确定所采用工艺的ALD-window。
📄 2017112222482
📂 C23C16_455
👤 南通大学
📅 2017-11-28
本发明提出了一种利用原子层沉积技术制备硫/碳@金属氧化物纳米管锂硫电池正极材料的方法。采用方法的要点是将醋酸镁加入聚丙烯腈纺丝液中,通过静电纺丝得到含有氧化镁的聚丙烯腈膜,经过碳化得到掺杂氧化镁的碳纤维,再通过原子层沉积在纤维表面沉积氧化锌,得到碳/氧化镁@氧化锌复合材料,通过热熔载硫获得碳/氧化镁@氧化锌负载硫的材料,应用于锂硫电池正极材料。本发明在制备锂硫电池正极材料的过程中利用原子层沉积方法,有利于控制包裹层的厚度及均匀度,同时实现了对正极材料一步掺杂,提供了一种工艺简单的复合材料的制备方法,获得具有良好的循环稳定性和高比容量的锂硫电池正极材料。
📄 2019107820184
📂 H01M4_36
👤 浙江理工大学
📅 2019-08-23