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  • 专利名称:一种芯片制造用可防静电的离子风机      申请号:2024213067352     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:实用新型   关键词:静电的离子风机   相似专利 发布日:2025/02/28  
    摘要: 本实用新型涉及芯片制造技术领域,公开了一种芯片制造用可防静电的离子风机,包括风机本体,风机本体的一侧可拆卸安装有过滤框,风机本体的另一侧设置有离子圈,离子圈的内侧环形设置有多个离子针。本实用新型技术方案既可以使直杆沿着滑槽向右移动,同时压缩弹簧,直杆带动滑块跟随移动,滑块带动保护框向右移动,使保护框与离子圈分离,从而方便工作人员对离子圈上的离子针进行维护,又可以在直杆向右移动过程中,使球形杆移动到楔形块的右侧斜面,从而使楔形块失去支撑力,楔形块向下移动,进一步方便对第一过滤板和第二过滤板进行拆卸清理,从而联动的完成对第一过滤板、第二过滤板和保护框的拆卸,提高拆卸维护效率。
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