本发明提供一种采用物理气相沉积方法在镁合金表面沉积膜-基结合力强、导电性好、耐腐蚀Hf/TiBx(x=2.2~2.5)耐蚀多层涂层的制备方法。(1)首先在镁合金表面先使用高功率脉冲磁控溅射沉积Hf过渡层,靶材峰值电流密度为0.8~1.2A/cm2,以缓解基体与涂层热膨胀系数失配问题并增强膜-基结合强度;(2)再使用直流磁控溅射沉积TiBx插入层,靶材功率密度为5~10W/cm2;(3)在0.1~0.6Pa纯Ar气氛中交替沉积Hf及TiBx插入层,得到Hf/TiBx多层涂层。通过上述方法可于镁合金表面制备出膜-基结合力强、导电性好、并具有优异防腐蚀性能的Hf/TiBx多层涂层。
📄 2019101088648
📂 C23C14_35
👤 广州大学
📅 2019-02-03