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一种芬顿辅助三相流动压空化抛光SiC光学曲面方法，首先将SiC工件无需加工的部分用隔绝材料包裹，然后将SiC工件浸泡于装有芬顿试剂的反应池中；反应一段时间后，将工件取出并用夹具固定在抛光液容器中；串并混联抛光平台控制圆柱形抛光工具相对于工件的位姿，使抛光工具与工件表面始终保持一个微小的加工间隙，工具与工件完全浸没在抛光液中；由伺服电机驱动圆柱形抛光工具高速旋转，超声波气泡发生机构不断调整变幅杆相对于动压区域的位姿，随着抛光进行，磨粒流循环系统对抛光容器中的磨粒进行循环输送。以及提供一种芬顿辅助三相流动压空化抛光SiC光学曲面。本发明在不造成表面及亚表面的损伤的前提下，提高抛光效率。