溅射镀膜 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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本发明公开了一种提升磁控溅射镀膜沉积速率装置，包括真空腔室、设置真空腔室顶部的密封盖、穿设在密封盖上的升降台及固定设置在升降台上的助吸装置，所述助吸装置包括吸环、连管及半圆形密封盘，所述吸环上均匀分布吸气孔，所述连管与吸环相连通，所述半圆型密封盘设置在连管端部位置，所述吸环表面相对位置处设有支撑块，所述支撑块上设有紧固螺钉，并通过紧固螺钉与升降台相连。本发明的有益效果是：该装置设计结构合理，使用方便，应用本装置为样品进行磁控溅射镀膜，使镀膜效率得到提高，对薄膜的制造领域具有重要的意义。

📄 2019110555907 📂 C23C14_35 👤 浙江工业大学 📅 2019-10-31

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玻璃镀膜用防溅射的阴极底板

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本发明涉及玻璃加工领域，尤其涉及玻璃镀膜用防溅射的阴极底板，包括板体，板体的内部设有空腔，空腔内设有转动辊，转动辊上固定连接有若干传送轮，板体的顶部设有若干轮孔，传送轮的顶部穿过轮孔且位于板体的外侧；板体相对的两端均设有竖板，两个竖板的端部之间连接有用于挡住板体顶面的挡板，两个竖板分别横向滑动连接在板体的相对的两端上，竖板转动连接在板体设有竖板的端部的两端上。本方案防止了溅射产物大量沉积在底板上，便于沉积的溅射产物的清理。

📄 201810937140X 📂 C03C17_00 👤 重庆市渝大节能玻璃有限公司 📅 2018-08-16

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一种提升磁控溅射镀膜沉积速率装置

玻璃镀膜用防溅射的阴极底板

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