专利交易市场

本发明属于微纳结构三维表面形貌测量领域，具体为一种时域频域联合分析宽光谱相干测量方法及系统，方法包括获取一系列的采样干涉条纹图像，分别提取像素点所对应的原始扫描信号；对该扫描信号分别进行时域调制度分析，提取出扫描信号的调制度曲线，通过调制度极大值点确定靠近零光程差点的采样点位置，可作为中心点并提取一段相对于中心点对称的扫描信号；将对称扫描信号进行空间频域分析，利用频谱相位信息确定零光程差点的相对位置；结合调制度极大值点位置和零光程差点的相对位置，联合求解得到每个像素点的表面形貌高度，确定被测物体三维表面形貌。本发明采取逐像素的方式求取被测微纳结构的表面形貌高度，其理论测量精度可达亚纳米量级。