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全部 发明 实用新型 外观设计
法律状态： 全部 已授权 审中
项目申报： 全部 报过 没有报过
共 1 件在售专利
离子源和离子布植机
实用新型 已授权
一种离子源和离子布植机，涉及半导体器件制备技术领域，该离子源包括用于源气体电离的腔室和用于发射热电子的阴极，所述腔室上开设有用于容置所述阴极的开口部，所述阴极的表面与所述开口部的内缘相对应的部分为缩进的弧面结构，所述弧面结构与所述开口部的内缘之间具有间隙。相较于现有技术，本实用新型通过将阴极上与开口部的内缘相对的部分设置成弧面结构，使得阴极与开口部的内缘之间的间隙得以相对增大，保证了阴极与腔室绝缘设置，同时也使得阴极周围的生成物不易与开口部短接而造成短路现象，增长了离子源的更换周期，提高了离子源的使用寿命。
📄 2020218032968 📂 H01J37_08 👤 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 📅 2020-08-25
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实用新型 已授权

离子源和离子布植机

2020218032968 · 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
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🔋 高能量密度固态电解质材料与制备工艺
预算：¥50-100万截止：2026-08-30发布方：××新能源科技响应：8人
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成功交易案例

🔬

固态锂电池电解质专利包

转让方：中国科学院××研究所
受让方：××新能源科技有限公司
交易类型：独占许可
交易金额：¥320万
🧬

CRISPR基因编辑技术

转让方：××大学
受让方：××生物医药有限公司
交易类型：转让
交易金额：¥1,200万
⚡

SiC功率器件工艺专利

转让方：××半导体有限公司
受让方：××汽车电子集团
交易类型：转让
交易金额：¥680万
☀️

钙钛矿光伏组件技术

转让方：××科技公司
受让方：××能源集团
交易类型：开放许可
交易金额：¥50万/年
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