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一种两维超声振动辅助滚蚀微细电解加工方法，保持工具阴极上微凸台与工件表面有一定的加工间隙，轴向和径向的振动分别由不同的超声电源控制，在轴向超声振动作用下，工具阴极对所加工微结构在轴向对应的侧壁进行二次电解加工；同时超声振动装置在旋转卡盘的带动下进行一定角速度的旋转，带动工具电极在旋转方向对所加工微结构的侧壁进行二次电解加工；加工时电解液充满加工间隙，电解产物在超声振动作用下被及时排出；通过轴向及径向的超声振动及工具阴极的旋转的共同作用，实现了对所加工微结构的所有侧壁及底部的完整加工。以及提供一种两维超声振动辅助滚蚀微细电解加工装置。本发明提高了电解加工的精度和效率。

一种超声协同气膜屏蔽辅助微细电解的加工方法，将工件紧密连接在超声振动装置的超声变幅杆上，工件通过超声振动装置接电源的正极，所用针状工具电极由工具电极夹头夹紧固定在喷嘴内，工具电极下端从喷嘴的出液口伸出，工具电极通过喷嘴接电源的负极；加工时，工件固定不动，机床带动喷嘴和工具电极向工件方向进给，保持工件和工具电极间一定的加工间隙，包覆高压气体膜的高速电解液喷射到超声作用的工件上，实现稳定高效的加工，获得所需的微结构。以及提供一种超声协同气膜屏蔽辅助微细电解加工的装置，包括超声振动装置、喷嘴、喷嘴帽、电极夹头、电解液槽和工作台。本发明提高了微细电解加工的定域性、稳定性、精度和效率。

本发明涉及一种移动掩膜微细电解加工装置及方法，包括电极丝、电极帽、电极座、支架、电解液进/出口和掩膜板；电极丝固定在电极帽上，电极帽通过螺纹联接固定在电极座上，电极座安装在支架上，支架固定在加工机床上，电极座可以在支架内上下滑动；掩膜板固定在电极座下端面，靠电极帽和电极座的重力作用将掩膜板压紧贴合在所加工工件表面，通过电解液进/出口完成电解液循环，排出电解加工产物。本发明能够通过单孔掩膜实现复杂微结构图案的刻蚀加工，通用性高、成本低、结构简单、装配使用方便，解决了加工不同微结构需要制备大量掩膜板的难题，尤其在掩膜微细电解加工中具有重要应用价值。