本申请提供了一种液相法生长碳化硅的多场耦合网格划分方法、装置和产品,涉及单晶生长技术领域,该方法为:根据液相法生长碳化硅系统的结构信息,建立几何模型;按照最大计算网格总量,进行网格划分,得到数值计算模型;基于数值计算模型,模拟多个不同电磁感应加热频率下的电磁感应加热过程、传热流动过程与组分输运过程,得到多组模拟结果;根据多组模拟结果,计算得到目标厚度拟合曲线,包括:浓度边界层厚度拟合曲线、热量边界层厚度拟合曲线和洛伦兹力边界层厚度拟合曲线;根据当前电磁感应加热频率,从厚度拟合曲线中确定多物理场耦合网格的网格厚度,进行网格划分,得到目标数值计算模型。
📄 2024114314563
📂 G06F30_20
👤 西安交通大学
📅 2024-10-14