稀土氧化物薄膜 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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法律状态：全部已授权审中

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发明已授权

本发明提供一种具有致密性和耐刻蚀性Y2O3薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1、将衬底清洗，吹干，置于UV光清洗机中进行活化处理；S2、将步骤S1中衬底置于磁控溅射镀膜机内，边抽真空边加热，达到本底真空后通入氩气，对Y2O3靶材进行预溅射，预溅射完成后打开挡板，调节腔体气压，正式溅射开始，溅射完毕后取出衬底；S3、将步骤S2中衬底在800~1000℃条件下进行真空退火，退火过程中持续通入O2，退火完成后在真空环境下自然降温，即完成Y2O3薄膜的制备。本发明制备的Y2O3薄膜具有致密性和耐刻蚀性，可以应用于刻蚀设备，提高设备使用寿命的同时还可提升设备性能。

📄 2024109971688 📂 C23C14_35 👤 武汉麦韦光学科技有限公司 📅 2024-07-24

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一种具有致密性和耐刻蚀性Y2O3薄膜的制备方法及其应用

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