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一种高灵敏度电容式柔性三维力触觉传感器。主要由半球型触头、柔性球曲面激励电极、柔性公共电极以及柔性基底构成；柔性基底为底部支撑，半球型触头为顶部覆盖，内部形成空气腔；在空气腔内粘接有柔性公共电极以及四个柔性球曲面激励电极；柔性公共电极连接在半球型触头和柔性基底之间，并设置于四个柔性球曲面激励电极的中心；四个柔性球曲面激励电极间隔均匀地排布在柔性基底上，且在柔性球曲面激励电极表面设绝缘层；柔性公共电极与柔性球曲面激励电极构成四个呈空间立体分布的电容，整体呈倒状“蘑菇”结构。本发明具有了更高的检测灵敏度及更快的响应速度，可用作柔性电子皮肤应用于人机交互、智能机器人、康复医疗等领域。