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本实用新型涉及光刻机定位技术领域，具体为一种光刻机长光路辅助定位装置，包括底座，所述底座位于整个装置的底端，所述底座上安装有升降组件，所述升降组件上安装有可对晶圆进行夹紧的一体式夹紧台，所述夹紧台中间开设的槽处放置有晶圆，且晶圆底端安装可均匀加热的红外线加热器。本装置设置的定位装置底端安装有升降组件，可通过气缸驱动气杆来调节升降组件的高度调节，方便于对根据使用需要对夹紧台上的晶圆实现不同高度的调控，设置的夹紧台上安装的晶圆通过夹紧组件实现夹紧，通过电机的正反实现连接块上夹块的收缩和展开，便于对晶圆实现稳定的夹紧，配合夹紧组件上安装的红外线加热器实现对晶圆的均匀加热，提高了装置的实用性。

本发明提供一种光刻机的晶片传送装置，涉及半导体材料生产技术领域，包括：对接座；所述对接座与机械臂固定连接，对接座外部连接有支撑架，支撑架外部固定连接有中空圆座；所述中空圆座内部环绕安装有六个内转块，内转块外部连接有拉杆，拉杆位于中空圆座内部；所述中空圆座外部连接有六个负压吸盘，内转块与负压吸盘相连，负压吸盘与负压泵相连。能够根据晶圆片规格的不同，精准改变六个负压吸盘之间的间隔距离，更好地满足各类不同规格晶圆片在吸附传送过程中的多样化需求。解决了现有光刻机所配置的晶片传送装置设计阶段，依据单一规格的晶圆片进行定制化生产，其结构与尺寸严格适配特定规格晶圆片的固定传送需求，应用局限性较大的问题。