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专利名称:
一种内置换热器的多晶铸锭炉
申请号:
2017109270885
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
供暖 铸锭炉
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发布日:2023/09/26
摘要: 本发明公开了一种内置换热器的多晶铸锭炉,包括装配于铸锭炉内用于向炉内输送载气的引流装置、加热器及隔热笼,加热器设置在隔热笼内,引流装置装配在隔热笼的隔热板上,还包括用于加热载气的加热装置及换热器,所述加热装置和换热器设置在铸锭炉内,加热装置设置在隔热笼内,换热器设置在隔热笼外;所述换热器的输入端和载气的输气管连通,输出端和加热装置的输入端连通;所述加热装置的输出端和引流装置的输入端相连通。冷载气依次经换热器、加热装置加热后形成温度较高的热载气,而后将该热载气经引流装置吹射坩埚内的硅料;减少吹射区域液态硅组分的过冷度,降低甚至消除液态硅中由载气所促进的杂质形核以及杂质核生长。
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