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  • 专利名称:石墨舟片卡点更换装置      申请号:2022101551330     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:发明   关键词:石墨舟片加工 硅片固定   相似专利 发布日:2025/02/05  
    摘要: 本发明公开了一种石墨舟片卡点更换装置,包括吸附上下料机构、定位工装和拆装机构,所述吸附上下料机构包括XZ轴移动机构和若干吸盘,所述定位工装用于承载石墨舟片,所述XZ轴移动机构驱动所述吸盘对所述定位工装进行石墨舟片上下料,所述拆装机构用于对所述定位工装上的石墨舟片拆换卡点,所述拆换卡点时由新卡点挤压替换所述石墨舟片上的旧卡点。本发明通过拆装机构在拆换卡点利用新卡点直接挤压替换旧卡点,减少操作步骤,提高卡点更换效率。
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