专利交易市场

本实用新型公开了一种低导磁率的实用型镍靶材，包括靶芯与靶座，所述靶芯底部设有基座，所述基座两侧壁均设有两个对称设置的插孔，所述靶座两侧壁均设有开口，所述开口内垂直设置有升降螺纹杆，所述升降螺纹杆外壁螺纹连接有升降螺母，所述升降螺母上滑动贯穿有两根与插孔对应的插杆，所述插杆通过复位机构与升降螺母连接，所述开口内设有与升降螺母配合的限制机构。本实用新型通过设置升降螺纹杆、升降螺母、插杆与插孔，能利用拖拽块使插杆端部带动防脱块与插孔分离，随即解除了靶芯与靶座的固定，能随着靶芯被消耗将靶芯移出靶座，从而为使用过程提供实用性，同时利用插孔与插杆活动式卡接固定，使装置具备一定便利性。

本发明提供一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，涉及旋转靶材制造技术领域。该一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，包括支撑盘、防护罩，所述防护罩可拆卸设置在支撑盘的外侧；所述支撑盘包括转动盘，所述转动盘的顶部中心位置固定连接有转轴，所述转动盘的顶部且位于转轴的外侧固定连接有环体，所述支撑盘的顶部且靠近环体的内侧壁固定连接有连接耳板，所述连接耳板的内侧通过销轴活动连接有L型夹紧脚。通过设置有L型夹紧脚结构，当旋转靶材套设在转轴上，底部压动防护台的时候，防护台受压下移，使L型夹紧脚的外侧的一只脚下压，另一只脚向外侧移动，顶在旋转靶材的内侧壁，实现固定的目的，使用非常的方便。