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本发明提供的是一种基于F‑P干涉仪的腔内增强型透射反射式相位显微成像测量系统。其特征是：它由激光光源1、光衰减系统2、激光扩束系统3、BS分光棱镜4、F‑P干涉仪5、显微物镜6和8、探测相机7和9、计算机10组成。本发明通过光在F‑P腔中的多次反射，每次经过腔内待测物体可以成倍增加光程差，从而显著增大干涉条纹的宽度，达到了提高分辨率的目的。本发明可用于微小物体的数字全息和折射率测量，可广泛用于各种微小物体内部的折射率三维显微成像测量领域。

本发明提供的是一种集成式多波段迈克尔逊干涉仪。包括光电探测器、光源、准直器、分光棱镜及其调整系统、固定反射镜、比色皿及其固定系统、移动反射镜系统、光程补偿器和信号处理单元，所述光电探测器为8波段光电探测器，所述的光源为宽谱光源，宽谱光源输出多波段连续的光波，每一个波段的光波经过迈克尔逊干涉仪均形成一组白光干涉图样，通过各自独立的8波段光电探测器和信号处理单元同时实现8个波段白光干涉信号各自独立的探测。本发明利用宽谱光源、分光棱镜及其调整系统、多波段光电探测器构造了多波段迈克尔逊干涉仪的集成技术方案。可用于透明介质的折射、色散等光学特性的测量，特别适合于透明液体的测量与鉴别。

本发明公开了一种正弦相位调制干涉仪PGC解调实时归一化修正装置及方法。构建含有测量干涉仪和监测干涉仪的光路结构，在两干涉仪的公共参考臂中放置电光相位调制器并同时施加高频正弦波调制和低频三角波调制；正弦调制用于产生相位载波，进行PGC解调得到含有待测相位信息的正交信号；三角波调制使正交信号周期性变化，对正交信号对应的李萨如图形进行椭圆拟合，实现PGC解调正交信号的实时归一化修正；通过计算两路干涉信号的相位差变化量算得被测位移，实现纳米级位移测量。本发明消除了PGC解调中相位调制深度、相位延迟、乘法器和滤波器增益等的变化引起的非线性误差，具有亚纳米级测量精度，适用于高端装备制造与加工领域中的精密位移测量。

本发明提供一种正弦相位调制干涉仪PGC解调方法、系统、装置及存储介质，包括：获取正弦相位调制干涉仪原始干涉信号；对原始干涉信号低通滤波得到带有直流偏置的同相干涉信号分量；利用载波信号与原始干涉信号进行混频、低通滤波得到正交干涉信号分量；基于同相干涉信号分量和正交干涉信号分量组成的正交干涉信号对根据最小二乘原理进行李萨如椭圆拟合，获得椭圆的中心点I轴坐标值，椭圆在I轴上的半径，在Q轴上的半径；利用李萨如椭圆拟合获得的椭圆的中心点I轴坐标值，椭圆在I轴上的半径，在Q轴上的半径对正交干涉信号对进行归一化处理；完成正交干涉信号对的幅值归一化后，进行干涉信号相位的解调。