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本发明公开了一种基于轻量化目标检测模型的晶圆缺陷检测方法及装置，涉及目标检测领域，包括：构建晶圆缺陷检测模型并训练，得到经训练的晶圆缺陷检测模型，晶圆缺陷检测模型包括多分支跨层聚合特征提取网络、多分支跨层聚合特征金字塔网络和部分卷积检测头网络，多分支跨层聚合特征提取网络和多分支跨层聚合特征金字塔网络在YOLOv8网络的特征提取网络和路径聚合网络的基础上将C2F模块替换为MBGB模块，将C2F模块之后的CBS模块替换为下采样模块，部分卷积检测头网络在YOLOv8网络的检测头网络的基础上将回归头和分类头的第一个CBS模块替换为Pconv模块；将预处理后的晶圆图像输入到经训练的晶圆缺陷检测模型，得到缺陷检测结果，解决计算量大、准确度低的问题。