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  • 专利名称:一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置      申请号:2018111887229     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:发明   关键词:LED晶片生长 LED长晶炉氩气   相似专利 发布日:2025/03/03  
    摘要: 本发明涉及一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置,包括生长炉、生长转动提升装置和氩气缓冲装置,所述生长炉的上端安装有生长转动提升装置,生长转动提升装置的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置,氩气缓冲装置包括氩气管,生长炉侧壁的上端设有通孔,通孔内连接有氩气管,氩气管为弧形结构,氩气管的出口处安装有缓冲垫,缓冲垫上均匀设有出气孔,氩气管外侧壁的上端安装有连接箱,氩气管的上端面安装有连接杆。本发明可以解决阀门控制氩气充入量时,氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题,可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能,具有对氩气进行缓冲,减轻气体对晶棒的冲击力、氩气充入量稳定和晶片质量有保障的优点。
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