硅芯切割 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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本发明涉及一种小型方硅芯高精度切割工艺，包括以下工艺步骤：步骤一、取一圆柱状的硅棒；步骤二、在硅棒单晶硅段的端面上通过胶水粘上四条导向树脂条，四条导向树脂条首尾相接形成一个正方形；步骤三、在硅棒多晶硅段的端面上通过胶水粘上晶座；步骤四、将硅棒通过晶座悬挂至多线切割机上；步骤五、调整硅棒的角度位置，使硅棒单晶硅端面上的导向树脂条与切割其的金刚石网相互垂直；步骤六、多线切割机的方形线网继续向上运动，从而完成整根硅棒的切割。本发明一种小型方硅芯高精度切割工艺，能够对硅棒切割垂直度进行调整定位，从而防止切割时金刚石线与硅棒产生偏离，有效保证了最终的产品质量和成材率。

📄 2017109611682 📂 B28D5_04 👤 江阴东升新能源股份有限公司 📅 2017-11-03

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