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本发明公开基于衬底集成波导超高灵敏度的微波微流控传感器。本发明顶层包括金属补丁、两条微带线和两个SMA连接头；中间层为介质板；底层包括金属薄片、刻槽CSRR结构、一个内部挖有微流体通道的PDMS；本发明采用楔形状的微带线耦合金属通孔的方法，并且金属化通孔尽可能向里面排布来增强与微带线之间的耦合。另外更为重要的是，为了提高矢量网络分析所呈现的传输曲线的质量因子以及谐振频率频偏的灵敏度，其中必须保证a＝b＝2mm以及d为1mm，从而才能尽可能增强底层金属薄片CSRR结构折线区域的电场。

本发明公开了基于改进缺陷地结构的高灵敏度微波微流控传感器，为双端口器件；具有顶层、中间层及底层；顶层包括一条微带线、两个50欧姆的电阻元件及两个SMA连接头，微带线有两个缺口处，缺口处均由50欧姆电阻元件焊接，微带线具有一个输入端口与一个输出端口，输入端口与输出端口均与微带线连接，且输入端口与输出端口分别用于连接SMA连接头，SMA连接头与矢量网络分析仪相连通；中间层是介质板；底层包括改进缺陷地结构，改进缺陷地结构包括螺旋线与DGS结构，螺旋线与DGS结构边缘之间有一个正方形环，在DGS结构中间有一个螺旋线结构，螺旋线结构上面置有一个内部形成有微流体通道的PDMS。该传感器灵敏度高、测量范围宽，检测误差小。