微机电系统封装 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

发明已授权

本发明提供一种微机电组件的封装构造，包括活塞、推拉杆、圆筒、单向阀一、排气管、进气管、单向阀二、凹槽、插柱、弹性片、铜环、接触片以及盲孔，所述推拉杆左端安装在活塞右端面中间位置，所述进气管右端安装在圆筒左端面下侧，所述单向阀二装配在进气管上，所述单向阀一装配在排气管上，该设计增加了本发明排气的功能，所述弹性片装配在凹槽内部上侧，所述盲孔开设在凹槽内部下端面中间位置，所述接触片安装在盲孔内壁中部位置，所述插柱上端安装在弹性片下端面中间位置，所述铜环装配在插柱环形侧面上，该实现了本发明自我检测的目的，本发明外形美观，实现封装气密性的自我检测，稳定性好，可靠性高。

📄 2017108054713 📂 B81B7_00 👤 武汉鑫华勤精密制造有限公司 📅 2017-09-08

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一种具有微流道的MEMS封装陶瓷基板和微系统

实用新型已授权

本实用新型公开了一种具有微流道的MEMS封装陶瓷基板和微系统。本实用新型提供的具有微流道的MEMS封装陶瓷基板，包括第一微流道、第二微流道和电通道；第一微流道设置于陶瓷基板内部，贯穿陶瓷基板的上表面和下表面的至少一个面；第二微流道沿陶瓷基板的平面方向的前、后、左或右的至少一个面；陶瓷基板的内部设置还设置有发热电极。上述方案实现了对待测流体介质的精准控温，从而提高了测量结果精度。本实用新型还提供了具有上述微流道的MEMS封装陶瓷基板的微系统。

📄 2023203845964 📂 B81B7_02 👤 嘉兴兴瓷新材料科技有限公司 📅 2023-03-05

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受让方：××新能源科技有限公司
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CRISPR基因编辑技术

转让方：××大学
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交易类型：转让
交易金额：¥1,200万

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SiC功率器件工艺专利

转让方：××半导体有限公司
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交易类型：转让
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钙钛矿光伏组件技术

转让方：××科技公司
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交易类型：开放许可
交易金额：¥50万/年

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一种微机电组件的封装构造

一种具有微流道的MEMS封装陶瓷基板和微系统

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