本发明公开了一种DS连轧制备钽靶坯的方法,包括如下步骤:S1、对钽铸锭进行热锻,锻造过程中进行中间退火,形成长方形钽板;S2、对长方形钽板进行DS连轧,形成钽靶坯坯料;S3、对钽靶坯坯料进行板带校平,然后进行真空热处理。本发明制备的钽靶坯在厚度方向上无织构梯度问题,组织分布更加均匀,晶粒取向随机分布,结合热处理工艺,晶粒尺寸均匀并且更加细小,相比于同步轧制晶粒细化30%以上;简化多道工序,并且代替人工旋转靶坯轧制,大幅提高生产效率,适用于大规模批量生产,靶坯直径不受铸锭直径限制,可制备出更大直径的靶坯;溅射性能稳定,大幅提高钽薄膜厚度均匀性,可广泛用于电子器件、半导体行业等镀膜领域。
📄 2023111703692
📂 C23C14_34
👤 燕山大学
📅 2023-09-12