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  • 专利名称:一种目标图形获取方法、装置及相关设备      申请号:2021100175928     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:发明   关键词:光学器件 集成电路 半导体器件 光刻 半导体芯片 晶圆加工   相似专利 发布日:2025/03/03  
    摘要: 本申请提供了一种目标图形获取方法、装置及相关设备,涉及光刻技术领域。首先获取原始图形的参数,其中,原始图形中包括多个图形条,原始图形的参数包括每个图形条的宽度及相邻两个图形条之间的间距,再依据每个图形条的宽度及相邻两个图形条之间的间距对图形进行分区,并确定目标区域,最后在掩膜板与目标区域对应的位置增设散射条,以通过掩膜板在晶圆上刻蚀出目标图形,其中,目标图形与原始图形相同。本申请提供的目标图形获取方法、装置及相关设备具有光学临近效应的修正效果更好的优点。
  • 专利名称:一种石英波片加工用除尘装置      申请号:2020219954065     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:实用新型   关键词:光学器件 相机摄影摄像   相似专利 发布日:2024/09/13  
    摘要: 本实用新型涉及石英波片加工技术领域,且公开了一种石英波片加工用除尘装置,包括基座。该石英波片加工用除尘装置,通过在螺纹滑杆和滑杆上安装有毛刷装置,实现了对波片除尘的目的,以及通过在基座上设置有超声波换能器和清洗池结构,使超声波频源的声能转换成机械振动并且向设置在清洗池内的清洗液辐射超声波,让清洗池的液体中的微气泡在声波的作用下振动,在气泡闭合时瞬间产生的冲击波使得波片上的污层脱落,从而达到了石英波片的外表面彻底除尘的目的,两种除尘方式相结合,能够有效增强该除尘装置的除尘效果,解决了现有的石英波片加工用除尘装置实际使用过程中,会发生因除尘方式单一,导致其具有除尘效果并不理想的问题。
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