本发明提供了一种柔性日盲紫外探测器。所述柔性日盲紫外探测器,其特征在于:包括从下往上依次设置的透明基底、石墨烯网格层和ZnS量子点层,且所述石墨烯网格层是由石墨烯刻蚀后的石墨烯网格形成。本发明的有益效果在于:所述柔性日盲紫外探测器制备工艺简单、可实现柔性以及大面积应用。所制备的日盲紫外探测器,对日盲区内紫外光响应度高而对日盲区外响应度低,减少背景干扰影响。本发明还提供一种柔性日盲紫外探测器的制备方法。
📄 2018102869749
📂 H01L31_02
👤 南京信息工程大学
📅 2018-03-30
本发明涉及一种紫外探测器,具体是指一种基于β‑Ga2O3/SiC异质结薄膜的日盲型紫外探测器及其制备方法。本发明是通过激光分子束外延技术在n型6H‑SiC衬底上沉积一层β‑Ga2O3薄膜,然后利用掩膜版并通过射频磁控溅射技术在n型6H‑SiC衬底和β‑Ga2O3薄膜上沉积一层Ti/Au薄膜作为电极使用。本发明的优点是:所制备的日盲型紫外探测器性能稳定,反应灵敏,暗电流小,具有好的潜在应用;另外,该制备方法具有工艺可控性强,操作简单,普适性好,且重复测试具有可恢复性等特点,具有很大的应用前景。
📄 2016101570707
📂 H01L31_109
👤 浙江理工大学
📅 2016-03-18