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本发明公开一种基于多源共蒸技术的薄膜监测制备装置及方法。该装置的工件盘固定于真空室的顶部且可沿其中心旋转;离子源设置于真空室的底部,且离子源的中心与工件盘的中心位于同一直线上;蒸发源至少包括两个阻蒸源和一个电子枪蒸发源;蒸发源均设置于真空室的底部,且等间距设置于离子源的四周;蒸发源均配有挡板;制备薄膜时,光学膜厚监测系统实时监测工件盘上任一位置所加载的基片上薄膜的光学厚度,并反馈给控制中心;控制中心用于薄膜制备参数的输入以及薄膜制备过程的控制。该方法遵循阻蒸源制备高、中折射率级别膜层,电子枪蒸发源制备低折射率级别膜层的制备原则。通过本发明能够实现多成分多级别复合光学薄膜的制备与光学膜厚监测。
📄 2021106492480 📂 C23C14_54 👤 西华师范大学 📅 2021-06-10
¥0.0
本发明属于蓄电池板栅加工技术领域,尤其为一种蓄电池板栅变形监测模具,包括壳体,所述壳体的底部内壁固定有第一气缸,所述第一气缸的输出端固定有安装板,所述安装板滑动连接在壳体的内部,所述安装板的表面设置有模具本体,所述模具本体的两侧表面均开设有插槽,所述安装板的上方设置有插块。本发明通过在安装板的表面设置拆装机构,方便带动插块对应模具本体一侧的插槽插紧限位,方便工作人员对蓄电池板栅模具进行拆装更换,使得操作人员使用时更加便利,提高装置的适用范围,通过顶出机构的设置,方便对模具本体内部放置被检测的的工件顶出,从而方便将检测后的工件进行拿取放置。
📄 2021115680807 📂 G01B21_32 👤 扬州瑞恩电器设备有限公司 📅 2021-12-21
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发明 已授权

一种基于多源共蒸技术的薄膜监测制备装置及方法

2021106492480 · 西华师范大学
¥0.0
发明 已授权

一种蓄电池板栅变形监测模具

2021115680807 · 扬州瑞恩电器设备有限公司
¥0.0

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🔋 高能量密度固态电解质材料与制备工艺
预算:¥50-100万截止:2026-08-30发布方:××新能源科技响应:8人

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固态锂电池电解质专利包

转让方:中国科学院××研究所
受让方:××新能源科技有限公司
交易类型:独占许可
交易金额:¥320万
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CRISPR基因编辑技术

转让方:××大学
受让方:××生物医药有限公司
交易类型:转让
交易金额:¥1,200万

SiC功率器件工艺专利

转让方:××半导体有限公司
受让方:××汽车电子集团
交易类型:转让
交易金额:¥680万
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钙钛矿光伏组件技术

转让方:××科技公司
受让方:××能源集团
交易类型:开放许可
交易金额:¥50万/年