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本发明公开了一种平面阵列电极电容传感器，通过设置底部屏蔽板、边缘屏蔽框和极间屏蔽条，大大降低了环境噪音对测量结果的影响，有利于提高测量精度。本发明还公开了基于上述平面阵列电极电容传感器的平面阵列电极电容成像系统以及成像方法，通过将数据融合技术应用到重建图像的图像处理当中，针对3×4平面阵列电容传感器，利用ANSYS有限元仿真软件将被测材料分为8层，计算出各层的灵敏度矩阵，采用Landwerb迭代算法进行图像重建，为融合重建出的分层图像，采用主成分分析法计算重建分层图像的主成分向量，将主成分按其贡献率的百分比进行融合，最终得到融合后的图像，数据融合得到的图像在图像误差和相关系数上较原图像均有改善。

本发明涉及一种共面电容传感器的扫描成像性能评估方法及系统，属于共面电容传感器领域，解决了现有技术中对同面电容传感器的扫描成像性能进行评估需要耗费大量时间的问题。本发明的一种面电容传感器的扫描成像性能评估方法，包括：获取目标传感器在预设探测深度的面层上的灵敏度分布图；提取所述面层的灵敏度分布图中的高灵敏度集中区域作为元图像；根据所述元图像评估所述目标传感器在所述面层的扫描成像性能。本发明提出的元图像，能够反应共面电容传感器与其在相应的探测深度的重建图像质量之间的关联，根据元图像直接评估共面电容传感器的扫描成像性能，从而能够起到节约时间和提高评估效率的效果。

本发明公开了一种可以同时测力和方向的二向式电容传感器，刚性杆为不易变形的细长杆，一端连接截面积大于刚性杆截面积的受力端，另一端连接动端，中间有孔与顶针支点连接，使得动端能够自由的在XOY面内移动；顶针支点固定在外壳上；X向正向标志固定在外壳上，用于标识传感器内的X轴正方向；定极板固定在外壳内侧，分为X向定极板和Y向定极板，X向和Y向的定极板互相垂直；复位弹簧由不导电材料制成，安装在定极板与动端之间；动端和定极板上都有引出线，通过外壳底部的引出线孔引出，形成引出线束。本发明的有益效果是装置结构简单，体积小，测量精度高，可以同时测量两个方向上所受外力的大小。