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摘 要:本实用新型属于氦气回收技术领域,尤其是半导体行业氦气回收再利用有毒有害气体的去除装置,针对背景技术提出的氦气中的有毒气体难去除的问题,现提出以下方案,包括安装架,所述安装架顶部外壁设置有预警机构,且预警机构包括焊接于安装架顶部外壁上的安装板、通过螺栓固定连接于安装板一侧外壁上的有毒气体传感器、连接于有毒气体传感器底部外壁上的探针、设置于有毒气体传感器一侧的警报器。本实用新型通过有毒气体传感器和警报器的相互配合,起到了很好的预警效果,过滤箱内的活性炭滤芯可吸收一部分有毒气体,净化器将剩余的有毒气体净化,并将氦气输送到氦气收集罐内,本装置对于有毒气体的吸收效果好,氦气得到了回收利用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202122143934.9 | 专利名称: | 半导体行业氦气回收再利用有毒有害气体的去除装置 |
申请日: | 2021-09-07 | 申请/专利权人 | 苏州咏昕恒能源科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市吴江区盛泽镇西二环路1188号中国盛泽纺织科创园10号楼103室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 关键词: | 半导体 相似专利 |
公开/公告日: | 2022-02-08 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN215742747U | 交易状态: | 等待洽谈 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)与组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | 专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权未下证) | 专利证原件(若授权未下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |