一种晶圆清洗装置

摘     要：本申请公开了一种晶圆清洗装置，属于晶圆清洗技术领域，包括清洗腔，清洗腔内设置有超声波发生器和晶圆放置盒，晶圆放置盒上设置有夹持机构，夹持机构包括夹板，夹板上设置有滚柱，滚柱用于在晶圆放置盒移动过程中进行导向，夹板上设置有固定机构，固定机构包括固定杆和固定轴套，固定轴套内设置有弹性器件，用于对夹板施加弹力。在本发明的技术方案实施时，通过设置有夹持机构，对晶圆放置盒进行夹持，保证在清洗的过程中晶圆夹持盒保持固定，同时在夹持机构的夹板上设置有滚柱，在晶圆放置盒的移动过程中提供导向，并在固定轴套中设置弹性器件，对夹板施加弹力。本申请的一种晶圆清洗装置达到对晶圆放置盒的固定效果。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（最新年检需盖公章）与组织机构代码副本复印件（需盖公章）一个专利各一份	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利协议（需盖公章）一式两份	专利协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（最新年检需盖公章）组织机构代码副本复印件（需盖公章）一个专利各一份	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利协议（需盖公章）一式两份	专利协议（需签字）一式两份
  	专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件	专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权未下证）	专利证原件（若授权未下证）

• 日期

  法律信息

  备注