2025/10/09
2025-02-18
2021113161637
发明
IPC分类号: H01J9/385
所属领域:真空设备制造 光电器件生产技术 自动化控制技术
应用场景:微光像增强器生产过程中的真空环境构建;光学元件封装中的气体排除;高精度真空系统自动化控制
2024/12/09
2024-04-05
2023222200103
实用新型
所属领域:其他