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本发明公开了一种短波长无极紫外光净化废水/纯水装置和方法，包括无极紫外灯、石英套管、内筒体、外筒体，石英套管、内筒体、外筒体从内向外依次套装在无极紫外灯上，在石英套管和内筒体之间形成降解水腔，在内筒体和外筒体之间形成冷却水腔，无极紫外灯包括内电极和外电极，在内电极和外电极之间形成密闭的气体填充区，在气体填充区内填充惰性气体与卤素气体的混合气体或者惰性气体与汞蒸汽的混合气体。本发明的装置操作简单、去除率高，循环净化、紫外灯寿命长、能量利用率高、不仅可以直接光解多种低浓度难降解废水，而且可以净化纯水，使之满足特种行业的超纯水要求、净化效果好、应用范围广，可以实现产业化的装置。