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本发明属于管材加工技术领域,具体的说是一种管材溅镀设备及其方法,包括筒体和控制器、靶材、电机、主动转盘、主动副转盘、夹具、从动转盘和从动副转盘;所述从动转盘的顶部固连有气泵;所述从动转盘的顶部中心固连有电动推杆,电动推杆的顶部固连有滑动盘,现有技术中,在运输与装夹的过程中可能对管材造成二次污染,从而影响溅镀效果,影响加工效果,且人工清洁效率较低,劳动强度较大;本发明中,通过设置滑动盘,便于对管材在筒体进行清洁,清洁过程不需要人员直接参与,提高清洁效率,且降低人员劳动强度,清洁完成后直接进行溅镀,避免造成二次污染,改善溅镀效果,提高产品良率。
📄 2021113589688 📂 C23C14_02 👤 朱健 📅 2021-11-17
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发明 已授权

一种管材溅镀设备及其方法

2021113589688 · 朱健
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🔋 高能量密度固态电解质材料与制备工艺
预算:¥50-100万截止:2026-08-30发布方:××新能源科技响应:8人

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固态锂电池电解质专利包

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CRISPR基因编辑技术

转让方:××大学
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交易类型:转让
交易金额:¥1,200万

SiC功率器件工艺专利

转让方:××半导体有限公司
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钙钛矿光伏组件技术

转让方:××科技公司
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交易金额:¥50万/年