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本发明涉及一种简化制程的刀刮二极管芯片的制作方法,在底部进行磷源扩散制作N+,上部进行硼源扩散制作P+,N+底部及P+上部均设有镍/金金属层,芯片四周及边缘“鸟嘴”均包裹在玻璃钝化保护层内;其制作流程:基片清洗、磷扩散、一次吹砂清洗、硼扩散、二次吹砂清洗、氧化退火、一次光刻、沟槽腐蚀、鸟嘴腐蚀、清洗、刮涂玻璃粉(含擦粉)、玻璃钝化、去氧化、镀镍/金、电性测试、激光切割等工序。本发明鸟嘴处直接做腐蚀使其下移,此时鸟嘴处于与台面平齐的玻璃保护之下,不易打火,耐压高,可靠性好;且在刮涂玻璃后采用较易操作的擦粉,可焊接面积增加,降低VF,缩短了生产周期,而且节约了黄光工序的光刻胶及相应的人工成本。
📄 202111568536X 📂 H01L29_861 👤 南通康芯半导体科技有限公司 📅 2021-12-21
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发明 已授权

一种简化制程的刀刮二极管芯片及其制作方法

202111568536X · 南通康芯半导体科技有限公司
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🔋 高能量密度固态电解质材料与制备工艺
预算:¥50-100万截止:2026-08-30发布方:××新能源科技响应:8人

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成功交易案例

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固态锂电池电解质专利包

转让方:中国科学院××研究所
受让方:××新能源科技有限公司
交易类型:独占许可
交易金额:¥320万
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CRISPR基因编辑技术

转让方:××大学
受让方:××生物医药有限公司
交易类型:转让
交易金额:¥1,200万
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SiC功率器件工艺专利

转让方:××半导体有限公司
受让方:××汽车电子集团
交易类型:转让
交易金额:¥680万
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钙钛矿光伏组件技术

转让方:××科技公司
受让方:××能源集团
交易类型:开放许可
交易金额:¥50万/年