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法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

发明已授权

一种基于MEMS的电容式红外气体传感器及其制备方法，该传感器以阵列的形式布置，通过对比分析特定波长下红外光强度的变化来测定CO、CH4、SO2的浓度，并采用电容作为感应元件。此外，太阳辐射检测技术在监测天气气候状况、预测未来天气、农业生产、太阳能开发等都有着重要意义，大气臭氧层的损耗，照射到地面的太阳光紫外线增强，使得人们越来越关注太阳辐射的变化。本发明设计的传感器还带有一个简便系统，可以用于太阳辐射量检测。本发明的电容式红外气体传感器制作与CMOS工艺兼容，易于板上集成，传感器采用电容作为感应元件，温度漂移低、精度高。

📄 201610331591X 📂 G01N21_3518 👤 南京天成环境科技工程有限公司 📅 2016-05-18

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一种基于MEMS的电容式红外气体传感器

201610331591X · 南京天成环境科技工程有限公司

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交易类型：转让
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交易金额：¥50万/年

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