一种基于双电层薄膜晶体管的湿度传感器及其制备方法

摘     要：本发明公开了一种基于双电层薄膜晶体管的湿度传感器及其制备方法。该湿度传感器包括：衬底；半导体层，形成于所述衬底上；源电极和漏电极，形成于半导体层的上方或下方，分别对应顶栅顶接触和顶栅底接触结构；栅介质层，形成于源电极、漏电极和半导体层上；以及栅电极，形成于所述栅介质层上；所述栅介质层采用湿度敏感型介电材料。本发明采用顶栅结构，用湿度敏感型栅介质代替传统绝缘栅介质；利用栅介质与空气中水分相互作用所导致的其中质子浓度变化，通过在栅电极施加电压后，半导体与栅介质界面处发生载流子-离子耦合，形成双电层；可有效控制半导体沟道内的载流子浓度，并使源-漏电极间的电阻与水分子浓度相关联，实现对环境湿度的有效检测。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

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