一种基于掩埋金属掩膜的脊表面光栅制作方法

摘     要：本发明涉及半导体激光器技术领域，尤其涉及一种基于掩埋金属掩膜的脊表面光栅制作方法，包括以下步骤：在基片的指定区域上形成具有光栅图形的掩埋金属掩膜；在掩埋金属掩膜之上形成具有脊波导图形的光刻胶掩膜，并基于光刻胶掩膜刻蚀形成脊波导结构；去除作为掩膜的光刻胶并在裸露的基片以及脊波导结构的表面镀制电隔离层；在电隔离层上套刻电极窗口并露出掩埋金属掩膜；基于掩埋金属掩膜在脊波导结构的表面刻蚀完成光栅的制作。本发明提出的一种基于掩埋金属掩膜的脊表面光栅制作方法，解决了现有的制作工艺在制作中容易损坏光栅结构的问题。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注