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摘 要:本发明涉及一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法和装置,其克服了现有技术中判别薄膜是否发生损伤,常常会造成“误判”现象,适用于激光损伤阈值测量中各类光学元件及镀膜元件表面损伤的在线判别,具有快速、准确的特点。本发明采用的技术方案如下:包括用于安装薄膜测试样品的二维工作台,二维工作台两侧分别设置有入射光路和反射光路,入射光路一侧依次设置有光源、滤光片、平行光管和起偏器,反射光路一侧依次设置有波片、检偏器和光电接收器,高能激光器的激光发射端正对薄膜测试样品表面,在高能激光器的激光脉冲输出方向依次设置有衰减器和会聚透镜,其中二维工作台、波片、检偏器、高能激光器、接收器和衰减器均连接至工业控制计算机。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010338387.7 | 专利名称: | 一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法和装置 |
申请日: | 2020-04-26 | 申请/专利权人 | 西安工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市未央区学府中路2号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N21/95搜分类 光学仪器 仪器仪表 塑料搜索 |
公开/公告日: | 2020-07-31 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN111474182A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/05/20 | 授权 | |
2020/08/25 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01N 21/95 专利申请号: 202010338387.7 申请日: 2020.04.26 |
2020/07/31 | 公开 |