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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202110029036.2 | 专利名称: | 中红外集成双通道滤光片的制备方法 |
申请日: | 2021-01-11 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | G02B5/28 分类检索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
浏览量: | 62 | 所属领域: | 其他专利转让搜索 |
摘 要:本发明为一种中红外集成双通道滤光片的制备方法,其克服了现有技术中光谱仪微型化程度得不到保证以及不能实现任意光谱或者大范围光谱分光的问题,本发明能够完成任意光谱或大范围光谱的分光,微型化与集成化程度更高。本发明包括以下步骤:S1、基片清洗后,先在基片背表面镀制3‑5μm中红外增透膜;S2、在基片前表面进行第一次光刻构图;S3、沉积第一通道滤光片薄膜;S4、通过剥离工艺将光刻胶及胶上薄膜去除,得到单通道滤光片;S5、在基片前表面进行第二次对准光刻;S6、沉积第二通道滤光片薄膜;S7、进行第二次剥离工艺将光刻胶及胶上薄膜去除,得到中红外集成双通道滤光片。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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