一种化学机械抛光垫及其制备方法和应用

摘     要：本发明提供了一种化学机械抛光垫及其制备方法和应用，属于超精密加工技术领域。以质量百分含量计，所述化学机械抛光垫由以下原料制备得到：磨料25～45％、还原剂15～30％、氧化剂15～30％、催化剂5～20％、活性剂1～3％、结合剂5～25％和填料1～10％。本发明将各化学试剂和磨料等物质加入到抛光垫中发挥作用，抛光时使用去离子水代替抛光液，节约了抛光液生产、运输费用，可将废物排放降到最低，减少了环保处理费用，降低了生产成本；同时本发明的化学机械抛光垫还具有良好的抛光质量。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

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