一种薄膜高温光电物性测试装置

摘     要：本发明公开了一种薄膜高温光电物性测试装置，其包括温控真空管式炉、样品测试台、温度测量单元、薄膜表面反射光强测量单元、薄膜电阻检测单元和计算机。被测薄膜由温控真空管式炉加热，并立式安置于炉内恒温区内；热电偶置于真空炉内样品附近，实时检测样品温度。激光可从光学窗正入射至炉内的薄膜表面并反射回外部被光电检测模块接收并测量。样品通过测试台上的四金属探针与外部恒流源及纳伏表相连，利用范德堡法由程序自动实现探针快速切换测量并计算薄膜电阻。该系统可以在室温至高温区同步生成薄膜反射光强和电阻随温度变化曲线并计算薄膜的光电相关物性参数，为材料宽温光电物性测量的高可靠性和自动化提供了保证。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2017/09/05	授权
  2015/09/30	实质审查的生效	IPC(主分类): G01N 21/55 专利申请号: 201510216869.4 申请日: 2015.04.30
  2015/09/02	公开