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摘 要:本发明公开了一种多元合金靶材、多元金属/氮化物复合涂层及其制备方法,该多元合金靶材为Ti‑Al‑Cr‑Zr‑Mo合金;该复合涂层以钛合金为基体材料,以Ti‑Al‑Cr‑Zr‑Mo多元合金为靶材,包括一组或多组沿基体材料依次生长的金属层和氮化物层。该复合涂层的制备方法为:对钛合金基体依次进行离子轰击清洗,采用多弧离子镀对轰击清洗的基体进行多元金属层沉积;在多元金属层之上沉积多元氮化物层,得多元金属/氮化物复合涂层。本发明通过合理设计多元合金靶材的成分,使复合涂层与基体之间相互匹配,使涂层具有良好的抗冲蚀、抗腐蚀、抗氧化性能,且提高涂层与钛合金基体的结合力。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910575465.2 | 专利名称: | 一种多元合金靶材、多元金属/氮化物复合涂层及其制备方法 |
申请日: | 2019-06-28 | 申请/专利权人 | 长安大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市南二环中段33号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/32搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |