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摘 要:本发明公开了一种便于对中的团簇束流过滤器及其应用,包括主体构件和对中辅助构件,主体构件包括环形底座、固定环及过滤锥;环形底座一端外侧设有外台阶环,固定环的内侧设有内台阶环,固定环套设在环形底座外,通过第一连接件与安装平面连接,环形底座与固定环的内壁之间间隙配合,外台阶环顶面与内台阶环顶面相贴合;过滤锥与环形底座可拆卸连接;对中辅助构件包括对中辅助环和与对中辅助环内径相匹配的、套设在对中辅助环内的对中辅助棒;对中辅助环与环形底座可拆卸连接。本发明将过滤锥安装在一个位置可调的底座上来实现位置调动功能,并通过辅助对中装置使过滤器对中于团簇束流轴线上,达到沉积高质量团簇组装薄膜材料的目的。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110144469.2 | 专利名称: | 一种便于对中的团簇束流过滤器及其应用 |
申请日: | 2021-02-02 | 申请/专利权人 | 浙江工业大学,浙江固微科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省杭州市下城区潮王路18号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B01D46/88搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |