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摘 要:本发明涉及一种基于波导结构的温度传感器,包括衬底、由贵金属‑介质‑贵金属构成的波导、谐振腔、热膨胀部、贵金属层构成,波导、谐振腔、热膨胀部、贵金属层位于衬底上,谐振腔为空腔,谐振腔外侧为贵金属材料,谐振腔位于波导一侧,并且与波导分离,热膨胀部位于谐振腔内,贵金属层包覆在热膨胀部外侧,形成了环形谐振腔,环形谐振腔的两侧为贵金属材料。当温度发生变化时,谐振腔的有效折射率发生变化,谐振腔的共振波长发生变化。通过探测共振波长的变化,实现对温度的探测。由于温度的改变导致了谐振腔宽度的变化,所以该发明具有灵敏度高等优点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910591551.2 | 专利名称: | 一种基于波导结构的温度传感器 |
申请日: | 2019-07-02 | 申请/专利权人 | 电子科技大学中山学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省中山市石岐区学院路1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01K11/00搜分类 传感器 波导搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |