发明专利已授权

一种基于波导结构的温度传感器

📄 申请号：CN201910591551.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-07-02

申请人

电子科技大学中山学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01K11_00

IPC 分类号

G01K11_00 , G01K5_62 ,

技术画像

所属领域

温度传感器温度传感器光波导光学传感

应用场景

工业温度监测, 医疗设备, 环境监测, 航空航天, 智能电网

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摘要

本发明涉及一种基于波导结构的温度传感器，包括衬底、由贵金属‑介质‑贵金属构成的波导、谐振腔、热膨胀部、贵金属层构成，波导、谐振腔、热膨胀部、贵金属层位于衬底上，谐振腔为空腔，谐振腔外侧为贵金属材料，谐振腔位于波导一侧，并且与波导分离，热膨胀部位于谐振腔内，贵金属层包覆在热膨胀部外侧，形成了环形谐振腔，环形谐振腔的两侧为贵金属材料。当温度发生变化时，谐振腔的有效折射率发生变化，谐振腔的共振波长发生变化。通过探测共振波长的变化，实现对温度的探测。由于温度的改变导致了谐振腔宽度的变化，所以该发明具有灵敏度高等优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：14 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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