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摘 要:本发明公开了一种用于晶圆检测的除尘装置,包括检测箱、集尘柜、承载台和除尘机构,检测箱的正面设置有箱门,且检测箱内设置有除尘机构,除尘机构包括第一电机、转轴、安装板、限位滑轮、刷板、刷毛,第一电机安装在检测箱的内部顶面上,且第一电机的输出端通过转轴与安装板的一端连接,安装板通过伸缩组件与刷板连接,刷板位于安装板的正下方,且刷板的底部设置有刷毛,检测箱内的下方设置有用于晶圆检测的承载台,承载台为圆形结构,且承载台的半径与刷板的长度相等,承载台上均匀设置有多组的除尘孔;本发明以刷板为半径可以对承载台表面均匀除尘,同时,通过伸缩组件对刷板进行收缩,从而减小除尘装置在检测箱内的占用的空间。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010662595.2 | 专利名称: | 一种用于晶圆检测的除尘装置 |
申请日: | 2020-07-10 | 申请/专利权人 | 李峰 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 安徽省合肥市瑶海区城东街道隆庭佳苑12幢203室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B08B1/04搜分类 除尘搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |