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摘 要:本发明涉及光波导技术领域,公开了用于提升衍射性光波导曝光电子束场强的电路,包括依次电相连的低压变换模块、高压并联模块,所述低压变换模块的输入端为连接低压信号的引脚,所述低压变换模块的输出端为输出N路中压信号的引脚,所述高压并联模块包括N个相互并联的高压子模块,所述高压子模块的输出端为输出10KV~25KV高压信号的引脚,相邻的高压子模块之间连接有延时模块;其中,低压信号的电压为18V~36V,中压信号的电压为390V~410V,N为整数且N≥2。本发明解决了现有技术存在的提升场强效果不佳、曝光效果不佳等问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202111511562.9 | 专利名称: | 用于提升衍射性光波导曝光电子束场强的电路 |
申请日: | 2021-12-06 | 申请/专利权人 | 成都信息工程大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 四川省成都市双流区西南航空港经济开发区学府路一段24号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H02M3/337搜分类 波导搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 15000.0元 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |