发明专利已授权

一种非晶态氧化铁薄膜的制备方法

📄 申请号：CN202110233101.3 📄 发布日：2025/11/10

著录项目信息

申请日

2021-03-03

公开号

CN113135600B

公开日

2022-05-13

申请人

龙图腾网科技(合肥)股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C01G49_06

IPC 分类号

H01L51_46 , H01L51_48 , C01G49_06 ,

技术画像

所属领域

无机薄膜材料无机薄膜材料金属氧化物薄膜非晶态材料

应用场景

光催化, 光电化学水分解, 锂离子电池, 气体传感器, 光学涂层

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摘要

一种非晶态氧化铁薄膜的制备方法，包括基底预处理、前驱液配制和薄膜沉积，是将醋酸铁溶解在以醇类有机溶剂和胺类有机溶剂形成的混合有机溶剂中，在5~10℃温度下以700~800rpm搅拌3~5h，然后保持温度不变，将搅拌速率降至400~500rpm持续搅拌2~7h后静置陈化2~6h得前驱液；再将前驱液涂覆在预处理后的基底上，然后将涂覆后的基底置于140~150℃下热处理25~40min。本发明制备出的非晶态氧化铁薄膜，薄膜具有较高的无序性，薄膜的均匀性好，致密性优异，粗糙度低至2.2nm，具有优异的透光性，光透过率高达91.2%，导电性优异，其方阻为13.2~14.1Ω，适用于有机光伏器件电子传输层的应用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240329

?? 专利权的转移：

20220513

✅ 授权

20210806

?? 实质审查的生效：

20210720

📄 公开

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