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摘 要:本发明属于信息光学领域,涉及一种宽光束扫描曝光系统与方法,为解决制作米级光栅曝光时间过长引起的时效性差以及环境不确定性导致扫描条纹对比度下降问题,采用干涉条纹扫描技术无缝连续拼接光栅;在扫描曝光过程中,运用多维条纹锁定技术,始终以扫描曝光过的潜像光栅的潜像条纹作为锁定条纹,直至扫描曝光结束;在移动曝光中实现了实时闭环的锁定第一曝光光束与第二曝光光束的相位差,条纹周期、以及第一曝光光束与第二曝光光束夹角,从而在一个扫描周期即可获得高质量的且受环境因素影响小的无缝拼接米级光栅;光束整形压缩柱面系统的使用有效增加了光束的利用率,同时保证光束的波面质量,大大缩短了米量级光栅的制备时间。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810312061.X | 专利名称: | 一种制作米量级光栅的系统及方法 |
申请日: | 2018-04-09 | 申请/专利权人 | 苏州大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省苏州市相城区济学路8号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G02B5/18搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2018-07-24 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108318954A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2019/12/27 | 授权 | |
2018/08/17 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G02B 5/18 专利申请号: 201810312061.X 申请日: 2018.04.09 |
2018/07/24 | 公开 |