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摘 要:本发明提供了一种亚波长反射式一维金属波片的制备方法,其能够在不同度的波段实现二分之一和四分之一波片的功能,所述波片包括介质光栅和设置在其上的金属层;纳米介质光栅结构设置上一层类光栅金属层,介质光栅的周期为80~350nm,占空比为0.3~0.8,厚度为50~200nm,金属层的厚度比介质光栅厚度30nm以上(层间距大于30nm)。介质层的材料可为SiO2、MgF2、PMMA,金属层为金、银、铝、镉等反射率高的材料。本发明具有结构简单,易于制作等优点,在以后的光学传感系统、先进的纳米光子器件以及集成光学系统中,具有很大的应用价值。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710572342.4 | 专利名称: | 一种亚波长反射式一维金属波片的制备方法 |
申请日: | 2015-05-29 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G02B5/30搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
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日期 | 法律信息 | 备注 |