咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本发明是一种全息双闪耀光栅的制作方法,所述全息双闪耀光栅的两个闪耀角分别是A闪耀角和B闪耀角,通过A、B两个光栅区上分别使用光刻胶光栅和同质光栅为掩模进行斜向离子束刻蚀,实现两个闪耀角的不同控制,避免了二次光刻胶光刻工艺。由于在制作同质光栅时,可以控制正向离子束刻蚀的时间,使同质光栅的槽深得到精确控制,另外由于同质光栅掩模和基片是同一种材质形成,两者的刻蚀速率始终保持一致,因此可以实现闪耀角的精确控制。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201110318455.4 | 专利名称: | 一种全息双闪耀光栅的制作方法 |
申请日: | 2011-10-19 | 申请/专利权人 | 苏州大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G02B5/18搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2016-06-22 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN102323634B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2016/06/22 | 授权 | |
2012/03/14 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G02B 5/18 专利申请号: 201110318455.4 申请日: 2011.10.19 |
2012/01/18 | 公开 |