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24小时咨询热线摘 要：本发明公开了一种制作全息双闪耀光栅的方法，其特征在于，包括下列步骤：(1)在光栅基片上涂布光刻胶；(2)进行第一次干涉光刻，制作符合A闪耀角要求的光刻胶光栅掩模；(3)对于A光栅区的光栅掩模，通过倾斜Ar离子束扫描刻蚀，形成三角形的闪耀光栅槽形；清洗基片；(4)重新涂布光刻胶；(5)将B光栅区进行遮挡，利用已制备完成的A光栅区进行莫尔条纹对准，然后去除遮挡，进行第二次干涉光刻，制作符合B闪耀角要求的光刻胶光栅掩模；(6)通过倾斜Ar离子束扫描刻蚀，将B光栅区刻蚀形成三角形的闪耀光栅槽形；(7)清洗基片，得到全息双闪耀光栅。本发明实现了全息双闪耀光栅的制作，能够精确地分别控制两个闪耀角。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN200910231737.3 | 专利名称： | 一种制作全息双闪耀光栅的方法 |
| 申请日： | 2009-12-03 | 申请/专利权人 | 苏州大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | G02B5/18搜分类 其他搜索 |
| 公开/公告日： | 2011-10-05 | 转让价格： | 面议 |
| 公开/公告号： | CN101726779B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2015/10/28 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人由苏州大学变更为苏州大学 地址由215123 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号变更为215137 江苏省苏州市相城区济学路8号 |
| 2011/10/05 | 授权 | 授权 |
| 2010/08/11 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G02B 5/18 专利申请号: 200910231737.3 申请日: 2009.12.03 |
| 2010/06/09 | 公布 | 公布 |
