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摘 要:本发明涉及电弧离子镀膜技术领域,具体涉及一种离子镀旋转直线复合式引弧装置及离子镀膜装置,其中离子镀旋转直线复合式引弧装置包括驱动组件、引弧杆、引弧针,所述引弧针安装在引弧杆的一端,所述驱动组件可驱动引弧杆沿直线运动以及可驱动引弧杆旋转运动。本发明可使引弧针有效避开靶材离化的金属离子直接沉积,很大程度降低沉积于引弧针上的膜层厚度,同时也提高了引弧针的导电性,增大了放电引弧的稳定性。引弧针远离靶面,靶面前无遮挡,更有利于靶面沉积膜层。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010414048.2 | 专利名称: | 一种离子镀旋转直线复合式引弧装置及离子镀膜装置 |
申请日: | 2020-05-15 | 申请/专利权人 | 温州职业技术学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省温州市瓯海区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/32搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |